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基于超材料的肖特基型遠(yuǎn)紅外多譜信號(hào)探測(cè)器和制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.c05ze3x.xyz
關(guān)鍵詞：
信號(hào)探測(cè)器
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項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開了一種基于超材料的肖特基型遠(yuǎn)紅外多譜信號(hào)探測(cè)
器，包括自下而上依次設(shè)置的襯底層、N 型砷化鎵層、二氧化硅層與
超材料層、歐姆電極和肖特基電極；其中超材料層為具有周期性微納
米結(jié)構(gòu)的金屬開環(huán)共振單元陣列，金屬開環(huán)共振單元陣列包含了多種
圖形及其特征尺寸參數(shù)，每個(gè)圖形對(duì)于特定電磁波具有完全吸收特性，
通過改變金屬開環(huán)共振單元的結(jié)構(gòu)和尺寸參數(shù)可以調(diào)控對(duì)應(yīng)的電磁波
吸收頻段，通過改變 N 型砷化鎵的耗盡層寬度可以調(diào)控超材料層中
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