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一種磁隧道結(jié)及其制備方法

2021-04-14 00:00:00
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項目成果/簡介:

本發(fā)明公開了一種磁隧道結(jié)及其制備方法。磁隧道結(jié)包括第一

電極層,以及依次形成在第一電極層上的第一磁性層、絕緣隧穿層、

第二磁性層和第二電極層;第一磁性層和第二磁性層至少其中之一為

CoFe(R)/FePt 結(jié)構(gòu);CoFe(R)/FePt 結(jié)構(gòu)由 CoFe(R)層和 FePt 層疊加而

成,CoFe(R)層較 FePt 層靠近所述絕緣隧穿層;CoFe(R)層的材料為摻

入 R 的 CoFe,R 為 B、Al 和 Ni 至少其中之一。

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