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一種具有曲面聚焦陣列的高頻超聲換能器及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞：
超聲換能器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種具有曲面聚焦陣列的高頻超聲換能器及其制
備方法，所述高頻超聲換能器包括曲面襯底，所述曲面襯底的上表面
為弧度 60°～180°的環形，所述曲面襯底的上表面的全部或部分區
域覆蓋有曲面聚焦陣列，所述曲面聚焦陣列的底部為高度 4μm～20
μm 的底電極，所述底電極之上設置有 16 個～256 個平行設置的弧形
陣元，所述弧形陣元的底部為高度 7μm～100μm 的鈮鎂酸鉛鈦酸鉛
厚膜，頂部為高度 100
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