一種半導體電阻式氣體傳感器及其制備方法

高端裝備制造

本發明公開了一種半導體電阻式氣體傳感器及其制備方法。氣

體傳感器包括絕緣襯底、信號電極和氣敏層；氣敏層由半導體納米晶

復合材料和石墨烯構成。利用膠態法合成半導體納米晶溶液，能在室

溫下直接成膜，不需要經過高溫處理，能耗小，且不會造成納米顆粒

的團聚，能夠最大限度地發揮納米顆粒比表面積大的優勢，有利于氣

體吸附，提高傳感器的靈敏度，使傳感器能在較低的工作溫度甚至常

溫下檢測低濃度目標氣體。制備方法簡單，易于實現大規模批

未應用