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一種薄膜在線激光測(cè)厚系統(tǒng)及方法

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 激光測(cè)厚
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項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:

本發(fā)明屬于非接觸式在線測(cè)厚領(lǐng)域,并具體公開了一種薄膜在

線激光測(cè)厚系統(tǒng)及方法,包括大理石框架和設(shè)于大理石框架內(nèi)部的 C

形架,大理石框架內(nèi)頂部及底部設(shè)置有鋼片和導(dǎo)軌;C 形架具有上梁

和下梁,上、下梁之間放置待測(cè)薄膜,上梁上下端部設(shè)置第一、第二

激光位移傳感器,第一、第二激光位移傳感器分別用于測(cè)量各自發(fā)射

點(diǎn)到鋼片及待測(cè)薄膜上表面的距離,下梁上下端部設(shè)置第三激光位移

傳感器和滑塊,第三激光位移傳感器用于測(cè)量待測(cè)薄膜下

項(xiàng)目階段:
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