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一種提拉法晶體生長爐
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項目成果/簡介:
一種提拉法晶體生長爐，屬于提拉法單晶生長裝置，解決現有
提拉法晶體生長爐內由于冷卻氣的非對稱流動引起的不穩定性和熔體
內包裹體雜質在晶體中聚集的問題。本發明包括爐體、基座、內隔熱
層、電磁感應加熱器、爐蓋、坩堝、坩堝蓋和籽晶桿；坩堝內固定有
坩堝整流筒，坩堝整流筒下端具有沿圓周均布的矩形孔；籽晶桿下部
通過徑向呈輻射狀均勻分布的肋條與隔熱環連接，所述隔熱環為圓環
形，其外徑與內隔熱層的內徑相適應。本發明設計簡單可靠，能夠有
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