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南京航空航天大學
南京航空航天大學 工業和信息化部
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CVD金剛石應用技術

2021-04-14 00:00:00
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所屬領域:
新能源與節能環保
項目成果/簡介:

在國內首次研制成功了大面積EACVD金剛石沉積自動控制系統,制備出直徑120mm、厚度1.9mm的金剛石厚膜;首次設計了基于HFCVD設備的金剛石薄膜多試樣連續沉積系統;CVD金剛石膜沉積設備與工藝的整體水平處于國內領先,達國際先進。系統開展了多種金剛石膜的應用研究,成功制備出與襯底結合良好的金剛石涂層刀具;成功地在陶瓷軸承內孔和外圓上獲得了納米金剛石涂層;研制成功了用于降解難處理污水的金剛石電化學電極。該成果適用于工具、生物醫學、環保等領域。

成果圖片:

項目階段:
產業化應用
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