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微電子芯片關鍵尺寸測試/分析系統

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞: 分析系統
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

微電子芯片結構關鍵尺寸(CD)的測試,是保證以集成電路為代表的微電子芯片研制、加工等工藝實現能否滿足設計要求的關鍵測試/分析技術。該技術(OCD)的產業化在國內還是空白,目前我們的系統研究可PK國際先進水平,并已具備產業化轉移的能力。 

項目階段:
產業化應用
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