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氮化鋁薄膜和高頻濾波器

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.c05ze3x.xyz
所屬領(lǐng)域:
新一代信息技術(shù)
項(xiàng)目成果/簡介:

高效率制備高品質(zhì)氮化鋁薄膜,并研究應(yīng)用于 4G、5G 通信(智能手機(jī)和基站)的高頻濾波器。制備薄膜質(zhì)量高于現(xiàn)有工藝,制備效率提高十倍以上。作為制備濾波器的關(guān)鍵薄膜性能指標(biāo),薄膜的取向性良好(XRD搖擺曲線半高寬2度左右), 薄膜表面起伏小于 1 納米;薄膜制備效率比傳統(tǒng)工藝提高 10 倍以上 

項(xiàng)目階段:

目前處于研發(fā)向應(yīng)用轉(zhuǎn)移階段,已經(jīng)完成薄膜新工藝的驗(yàn)證,在 8 寸園晶上制備出可用于高頻濾波器生產(chǎn)的質(zhì)量優(yōu)異的薄膜材料,并證明了器件制備的可行性。 

效益分析:

應(yīng)用于智能手機(jī)和基站的高頻濾波器,替代進(jìn)口,希望打入百億美元的濾波器市場。 

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