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基于懸臂梁的在線式微波相位檢測器及檢測方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞：
測器及檢測方法
所屬領域:
項目成果/簡介:
基于懸臂梁的在線式微波相位檢測器及檢測方法，檢測器制備在高阻硅襯底上，由共面波導傳輸線、兩個懸臂梁結構、功合器以及兩個間接熱電式微波功率傳感器所構成。其中共面波導傳輸線包括信號線和地線；懸臂梁結構包括懸臂梁的梁和錨區，懸于信號線上的介質層上方；功合器包括不對稱共面帶線ＡＣＰＳ信號線、地線和隔離電阻；間接熱電式微波功率傳感器包括終端電阻、金屬熱偶臂、半導體熱偶臂、歐姆接觸區和直流輸出塊。本發明檢測器結構簡單，電路尺寸較小，可實現微波相位的在線式檢測。
項目階段:
知識產權編號:
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