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Si基微機械懸臂梁耦合間接加熱式毫米波信號檢測器

2021-04-14 00:00:00
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

本發明的Si基微機械懸臂梁耦合間接加熱式毫米波信號檢測器,結構包括懸臂梁耦合結構、功率合成/分配器、間接加熱式微波功率傳感器和開關。懸臂梁耦合結構包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成,用于耦合部分待測信號,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處為λ/4。功率通過輸入端口對應的CPW信號線終端的間接加熱式微波功率傳感器進行檢測;頻率檢測通過測量兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號的合成功率實現;相位檢測通過將兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號

項目階段:
小批量或小范圍應用
知識產權編號:
2017100526398
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