一種帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺

高端裝備制造

本實用新型公開了一種帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺包括：樣品倉，設有樣品工作位；掃描單元，安裝在所述樣品倉內位于樣品安裝位的正上方，通過馬達系統在X，Y方向上移動；交換倉，設有樣品安裝位，與所述樣品倉連通，還設有樣品進出口和交換倉門；移動導軌，在所述樣品倉和交換倉之間傳輸樣品；樣品安裝座，安裝在所述移動導軌上，在所述樣品安裝位和樣品工作位之間移動；交換桿，一端連接所述樣品安裝座，一端伸出交換倉；攝像頭，安裝在交換倉內位于所述樣品安裝位的正上方；控制器，設有導航模塊，所述導航模塊根據在樣品安裝座的圖像上指定位置以控制掃描單元平移到對應的觀察位置上。

未應用