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超薄功能膜鍍膜技術和設備

2021-01-12 00:00:00
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關鍵詞: 鍍膜
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所屬領域:
先進制造與自動化
項目成果/簡介:

開發了先進的離子鍍膜技術,可以在各種金屬、陶瓷、玻璃、有機玻璃和樹脂材料上,鍍制各種功能薄膜,并具有各種鍍膜設備的開發和制備能力。目前可以鍍制的薄膜種類包括:具有超硬特性的非晶金剛石薄膜,可以廣泛地應用于光學、微電子、機械、航空航天等工業生產領域;應用于提高各種刀刃具壽命的氮化鈦鋁、氮化碳、氮化鈦涂層;應用于微電子工業制備集成電路和柔性電路板的銅涂層;應用

項目階段:
小批量或小范圍應用
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