一種橢偏儀系統參數的優化方法

先進制造與自動化

本發明公開了一種橢偏儀系統參數優化方法，包括首先建立待 優化橢偏儀的系統模型，并得到包含橢偏儀系統參數的矩陣 W；然后計算橢偏儀系統矩陣 W 在不同橢偏儀系統參數下的條件數；再次計算 出每個橢偏儀系統參數下矩陣 W 條件數的最大值與最小值的差值，并 按差值從大到小順序排列；最后根據差值的排列順序，優化每個橢偏 儀系統參數，重復 n 次優化后，選取排列最前的系統參數，求得其 n 次優化后最小條件數值與第 n-1 次優化時矩陣 W 最小條件數值之間的 差值，當差值大小滿足要求時，則認為第 n 次優化后的橢偏儀系統參 數為當前橢偏儀的最優系統參數。本發明方法過程明確、簡單，最優 參數的選定標準靈活可變，可以適用于現有不同結構類型的橢偏儀的 優化。 

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