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一種用于捕獲循環(huán)腫瘤細(xì)胞的微流道結(jié)構(gòu)及其制備方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.c05ze3x.xyz
關(guān)鍵詞：
腫瘤細(xì)胞
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開了一種用于捕獲循環(huán)腫瘤細(xì)胞的微流道結(jié)構(gòu)及其制 造方法，該方法包括：
（1）在單晶硅片表面勻膠、光刻得到光刻膠掩膜；
（2）基于光刻膠掩膜，使用感應(yīng)耦合等離子體反應(yīng)刻蝕技術(shù) ICP 在單晶硅片上刻蝕出微米級(jí)別的凹槽及槽內(nèi)均勻分布的硅微米柱陣 列；
（3）在微米柱表面制備納米線陣列；
（4）對(duì)凹槽進(jìn)行封裝。
按 照本發(fā)明，可以獲得一種用于循環(huán)腫瘤細(xì)胞檢測(cè)的微納復(fù)合微流道結(jié) 構(gòu)，這種檢測(cè)結(jié)構(gòu)具有靈敏度高、效率高等特點(diǎn)。
項(xiàng)目階段:
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