采購原子力顯微鏡1臺(tái)，要求具備樣品表面形貌的原子力掃描成像功能，主要用于半導(dǎo)體材料與器件形貌的表征。通過探針針尖的原子力作用掃描樣品表面，獲得包括高度、力學(xué)、電學(xué)和粗糙度等信息。 設(shè)備主要由以下幾部分組成：測試主機(jī)、顯微系統(tǒng)、控制主機(jī)、控制系統(tǒng)與軟件、配套附件等。 具備多種工作模式：包括但是不限于 接觸模式；輕敲模式；自動(dòng)掃描模式；磁力顯微鏡；橫向力顯微鏡；相位成像。具備大范圍的樣品水平掃描能力；具備大范圍的Z軸掃描能力，具有智能自動(dòng)進(jìn)針方式，附帶正版操作系統(tǒng)與軟件，可放置樣品最大支持8寸，向下兼容，具備高分辨同軸直視光學(xué)系統(tǒng)：在操作原子力顯微鏡的同時(shí)，可獲得光學(xué)圖像；配備主動(dòng)電磁式防震平臺(tái)， 隨設(shè)備提供滿足設(shè)備質(zhì)保期內(nèi)正常使用的常用備件與耗材，包括用于8英寸及以下尺寸晶圓和不規(guī)則小片的托盤和夾具等。 質(zhì)保期：自設(shè)備驗(yàn)收之日起至少1年，質(zhì)保期內(nèi)提供全免費(fèi)保修。在質(zhì)保期滿后繼續(xù)提供技術(shù)支持。 交貨地點(diǎn)：南京大學(xué)仙林校區(qū)。 售后服務(wù)響應(yīng)要求：供應(yīng)商必須保證快速的服務(wù)響應(yīng)，得到通知后，應(yīng)在4小時(shí)內(nèi)提供技術(shù)支持。需要上門服務(wù)的，應(yīng)在72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場。 培訓(xùn)要求：設(shè)備及其中的重要部件應(yīng)附帶使用手冊(cè)。設(shè)備安裝、調(diào)試、驗(yàn)收完成后，供應(yīng)商對(duì)采購人的設(shè)備管理、維護(hù)人員進(jìn)行免費(fèi)培訓(xùn)，包括軟件、硬件的操作和日常維護(hù)、典型應(yīng)用工藝。